隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為其核心支撐，迎來(lái)了前所未有的增長(zhǎng)。然而，這一過(guò)程中產(chǎn)生的大量廢水成為環(huán)境保護(hù)的重大挑戰(zhàn)。芯片制造涉及多道化學(xué)和物理處理工序，每一步都可能產(chǎn)生含有重金屬、有機(jī)污染物和酸堿物質(zhì)的廢水。本期依斯倍將介紹芯片制造廢水處理的相關(guān)技術(shù)。

廢水處理關(guān)鍵技術(shù)

1. 預(yù)處理階段

- 物理分離：通過(guò)格柵、沉淀等物理方法去除廢水中的懸浮物和大顆粒雜質(zhì)。

- 調(diào)節(jié)pH值：使用酸堿中和法調(diào)整廢水至適宜的pH范圍，便于后續(xù)處理。

2. 主體處理階段

- 膜分離技術(shù)：反滲透（RO）和納濾（NF）技術(shù)能有效去除廢水中的溶解性有機(jī)物、無(wú)機(jī)鹽分和部分重金屬離子，是廢水深度凈化的關(guān)鍵步驟。這是芯片制造廢水處理常用的方法之一。

- 高級(jí)氧化過(guò)程（AOPs）：如Fenton試劑、紫外線(xiàn)/H2O2等，可高效分解難降解有機(jī)物，提高廢水可生化性。

- 吸附技術(shù)：利用活性炭、樹(shù)脂等吸附材料去除廢水中的重金屬和有機(jī)污染物。

3. 深度處理與消毒

- 生物處理：如活性污泥法、生物膜法等，用于進(jìn)一步去除有機(jī)物，改善水質(zhì)。

- 紫外線(xiàn)消毒或臭氧氧化：確保廢水中的微生物指標(biāo)達(dá)到回用標(biāo)準(zhǔn)。

廢水回用策略

經(jīng)過(guò)上述處理流程，廢水可以達(dá)到工業(yè)回用水質(zhì)要求，應(yīng)用于芯片制造過(guò)程中的冷卻、清洗、配藥等環(huán)節(jié)。為提高回用效率，企業(yè)通常采取以下策略：

- 建立分類(lèi)回收系統(tǒng)：根據(jù)廢水類(lèi)型和污染物特性，實(shí)施分類(lèi)收集與處理，提高處理效率和回用率。

- 集成化水資源管理系統(tǒng)：結(jié)合智能監(jiān)控與自動(dòng)化控制技術(shù)，優(yōu)化全廠(chǎng)水平衡，實(shí)現(xiàn)廢水處理與回用的精細(xì)化管理。

- 能量回收與資源回收：在廢水處理過(guò)程中，回收利用產(chǎn)生的熱量和有價(jià)值的物質(zhì)，如從重金屬?gòu)U水中回收金屬資源。

芯片制造廢水處理與回用不僅是環(huán)保要求，更是企業(yè)社會(huì)責(zé)任和可持續(xù)發(fā)展的體現(xiàn)。隨著技術(shù)的進(jìn)步和政策的推動(dòng)，諸如膜技術(shù)、高級(jí)氧化技術(shù)等新型處理技術(shù)的應(yīng)用將更加廣泛，為半導(dǎo)體行業(yè)綠色轉(zhuǎn)型提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。未來(lái)，通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新和優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)廢水“零排放”目標(biāo)，將是半導(dǎo)體行業(yè)追求的重要方向。